伦琴实验室即进行实验的场所。实验室是科学的摇篮,是科学研究的基地,科技发展的源泉,对科技发展起着非常重要的作用。
伦琴实验室按归属可分为二类:
①是从属于大学或者是由大学代管的实验室;
②实验室直接归属于工业企业部门,为工业技术的开发与研究服务。
伦琴实验室XRR的特点:
1、无损检测;
2、对样品的结晶状态没有要求,不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试;
3、XRR适用于纳米薄膜,要求厚度小于200nm;
4、晶面膜,表面粗糙度一般不超过5nm;
5、多层膜之间要求有密度差。
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