在410n-si(111)衬底上生长的膜层具有金刚石的多个特征衍射峰，它们分别对应(11)、 (220)、 (311) 和(331) 的衍射，并由图3得到进一步证实，金刚石沿衬底表面的划痕线出现，表面粗糙的衬底比抛光后的衬底[图易于金刚石的成核生长。上海棱光技术有限公司紫外分光光度计且在生长过程中喷嘴与衬底距离应严格控制。
改变上述生长条件，观察到石墨和碳化硅的存在。实验还指出:不聚焦的激光光束或聚焦后功率密度小于10mj/cm2时，都不能产生金刚石，这是因为该体系金刚石的形成过程是一个多光子过程，需要产生足够的活化基团才行。