该款仪器专为电子半导体、五金电镀、印刷线路板、首饰手表、检测机构等行业的仪器。XYZ三个可调节方向、全面的样品观察系统和激光定位使得检测更方便。大的测试内部空间，较好的散热效果和抗电磁干扰能力，模块化的结构设计使安装、调试、维护更方便，可适应恶劣工作环境。
性能特点：
1、满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求；
2、φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求；
3、高精度移动平台可定位测试点，重复定位精度小于0.005mm；
4、采用高度定位激光，可自动定位测试高度；
5、定位激光确定定位光斑，确B测试点与光斑对齐；
6、鼠标可控制移动平台，鼠标点J的位置就是被测点；
7、高分辨率探头使分析结果更加；
8、较好的射线屏蔽作用；
9、测试口高度敏感性传感器保护。
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